我国喜提两台“光刻机”加快集成电路芯片研究进程--手机中研网

近日，武汉天河机场迎来了一箱比黄金还要贵重的进口设备!而这正是长江存储从荷兰阿斯麦(ASML)公司订购的一台光刻机，目前这台机器一抵达武汉。据了解，这台光刻机价值高达7200万美元，约合人民币4.6亿元。

据多方媒体报道，长江存储从荷兰阿斯麦(ASML)公司订购的一台光刻机已通过空运抵达武汉天河机场，就在该设备运达武汉后不久，荷兰当地媒体《埃因霍温经济报》也证实了上述消息。

长江存储公司的发展历程

受到紫光集团，国家集成电路产业投资基金，湖北地方集成电路基金，湖北科投共计240亿美元战略投资，长江存储科技有限责任公司于2016年7月正式成立。长江存储科技有限责任公司(长江存储)是一家集芯片设计、工艺研发、晶圆生产与测试、销售服务于一体的半导体存储器企业。

在去年，国家存储器基地于去年成功研发中国首颗32层三维NAND闪存芯片，这颗耗资10亿美元、由1000人团队历时2年自主研发的芯片，是我国在制造工艺上最接近国际高端水平的主流芯片。而且长江存储还在推进64层堆叠3D闪存，力争2019年底实现规模量产，将与世界领先水平差距缩短到2年之内。

今年4月，国家存储器基地项目芯片生产机台正式进场安装，这标志着国家存储器基地从厂房建设阶段进入量产准备阶段，中国首批拥有完全自主知识产权的32层三维NAND闪存芯片将于年内量产。

长江存储公司是中国高端芯片联盟发起单位之一，被寄望推动中国半导体产业自主研发。长江存储自成立以来所投入的资金可以说是我们国家在硬件创新研究方面的体现，也表明了我国对自主创新发展的雄心与支持。

前面着重讲了这个刚刚抵达不久的光刻机，那么这款机器究竟有何神奇之处呢?

集成高端电路的佼佼者

光刻机是生产大规模集成电路的核心设备，制造和维护需要高度的光学和电子工业基础，世界上只有少数厂家掌握。因此光刻机的价格昂贵，通常在3000万至5亿美元不等。

光刻机的作用是扫描曝光芯片晶圆，刻蚀集成电路。精度越高的光刻机，能生产出纳米尺寸更小，功能更强大的芯片。

目前，苹果iPhone X和iPhone 8系列的核心处理器芯片，采用了台积电的10纳米工艺技术，而今年即将推出的新款iPhone将使用7纳米工艺技术。阿斯麦的EUV光刻机，则能生产出5纳米工艺级别的芯片。

长江存储订购的这台光刻机采用193nm沉浸式设计，可生产20-14nm工艺的3D NAND闪存晶圆，售价达7200万美元，约合人民币4.6亿元。

可见，这款光刻机拥有强大的功能，可以生产出纳米尺寸更小，功能更强大的芯片。现在随着科技的进步，电子产品的零件都要求微型化，一个芯片里包含了成千上万的电路系统，被包裹在一个狭小的空间里，我们肉眼无法看见其电路走向，但它却比传统的电路在性能上高效，而且可应用于大数据运算，往智能化发展。这对于我国未来电子科技行业的自主创新有着至关重要的作用，不仅在手机电脑等的日常使用的电子产品，更能推进我国在航天领域，海洋探索领域有新的突破。

至此，有一部分读者就很想知道究竟是哪个生产商能够生产出这么有价值的设备，下面我们一起来解读这个著名的生产商。

欧洲人均科研经费排名第二的高科技公司

ASML是总部设在荷兰Veldhoven的全球最大的半导体设备制造商之一，向全球复杂集成电路生产企业提供领先的综合性关键设备。

2010年，其全球净销售收入超过45亿欧元。2011年，卖出222套机器，全球净销售收入56.51亿欧元 [1] ，净利润14.67亿欧元。

ASML为半导体生产商提供光刻机及相关服务，TWINSCAN系列是目前世界上精度最高，生产效率最高，应用最为广泛的高端光刻机型。目前全球绝大多数半导体生产厂商，都向ASML采购TWINSCAN机型，例如英特尔(Intel)，三星(Samsung)，海力士(Hynix)，台积电(TSMC)，中芯国际(SMIC)等。

长江存储公司购买的那款“光刻机”就是由ASML公司研发生产的。