2020年ITO导电玻璃行业现状及发展前景分析

2020年ITO导电玻璃行业现状及发展前景分析

ITO(Indium Tin Oxide，氧化铟锡)导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上，利用磁控溅射的方法镀上一层氧化铟锡(俗称ITO)膜加工制作成的。在平板显示产业中主要应用在触摸屏和液晶面板领域。触摸屏领域应用的是TP-ITO导电玻璃，而液晶面板领域应用的是LCD-ITO导电玻璃，两者的主要区别在LCD-ITO导电玻璃还会在镀ITO层之前，镀上一层二氧化硅阻挡层，以阻止基片玻璃上的钠离子向盒内液晶里扩散。高端LCD-ITO玻璃在溅镀ITO层之前基片玻璃还要进行抛光处理，以得到更均匀的显示控制。LCD-ITO导电玻璃基板一般属超浮法玻璃，所有的镀膜面为玻璃的浮法锡面。

ITO导电玻璃是一种既透明又导电的玻璃，它采用磁控溅射沉积成膜技术，以ITO材料作为溅射靶材，在玻璃基板上生成一层很薄的ITO膜。这层ITO膜同时具有良好的导电性和透光性，适于制作透明显示电极，是平板显示器生产的重要原材料之一。玻璃基板的厚度通常只有0.3~1.1mm，它具有重量轻、透明度高、平整度高、有一定的机械硬度、容易切割加工等特点，因此被广泛应用于平板显示器上。ITO导电玻璃随着20世纪70年代初LCD显示器的兴起至今已经历了40多年的历程，并从过去只能生产高电阻、小尺寸、普通表面、黑白显示的产品，发展到了现在能够生产低电阻、大尺寸、抛光表面、彩色显示的产品。

早期的ITO导电玻璃是采用铟锡合金作为溅射靶材，通过氧化反应而成膜的。此种靶材对溅射工艺控制有极其严格的要求，尤其是氧气流量的稍许波动，就可能形成氧化反应不充分，而使膜层透过率和蚀刻性能变差;或因氧气流量较大，而造成靶面“中毒”，使溅射效率下降，从而使膜层变薄、电阻升高。鉴于此，材料商开发出了氧化靶，即将高纯度的氧化铟和氧化锡超细粉末，按一定比例充分混合好，再采用粉末冶金工艺烧结成固体靶材。随着制作工艺的不断改进，ITO靶材密度逐步提高，现在已达到99.5%以上，基本满足了ITO导电玻璃的需要。ITO导电玻璃的性能指标主要有基板玻璃的外形尺寸、表面电阻(或方块电阻)、透光率、膜层厚度、蚀刻性能和可靠性等。

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