华为和中科院联手攻克光刻机技术 2020中国离子注入行业市场发展前景预测

HuangJiang

离子注入是指当真空中有一束离子束射向一块固体材料时,离子束把固体材料的原子或分子撞出固体材料表面,这个现象叫做溅射;而当离子束射到固体材料时,从固体材料表面弹了回来,或者穿出固体材料而去,这些现象叫做散射;另外有一种现象是,离子束射到固体材料以后,受到固体材料的抵抗而速度慢慢减低下来,并最终停留在固体材料中的这一现象叫作离子注入。

在电子工业中,离子注入成为了微电子工艺中的一种重要的掺杂技术,也是控制MOSFET阈值电压的一个重要手段。因此在当代制造大规模集成电路中,可以说是一种必不可少的手段。

根据中研普华研究报告《2020-2025年中国离子注入行业市场发展前景预测与投资战略规划研究报告》分析:

离子注入的方法就是在真空中、低温下,把杂质离子加速(对Si,电压≥105 V),获得很大动能的杂质离子即可以直接进入半导体中;同时也会在半导体中产生一些晶格缺陷,因此在离子注入后需用低温进行退火或激光退火来消除这些缺陷。离子注入的杂质浓度分布一般呈现为高斯分布,并且浓度最高处不是在表面,而是在表面以内的一定深度处。

离子注入的优点是能精确控制杂质的总剂量、深度分布和面均匀性,而且是低温工艺(可防止原来杂质的再扩散等),同时可实现自对准技术(以减小电容效应)。

在工艺流程中,光刻的下一道工序就是刻蚀或离子注入。在做离子注入时,有光刻胶保护的地方,离子束无法穿透光刻胶;在没有光刻胶的地方离子束才能被注入到衬底中实现掺杂。因此,用于离子注入工艺的光刻胶必须要能有效地阻挡离子束。

华为+中科院联手攻克光刻机技术

受芯片断供影响,华为近期一直在寻找突破口。国外企业进口或是代加工的路基本已经被堵死了,目前唯一的出路便是联合国内的芯片代加工厂自主研发。

中科院院长将携手中国科研队伍宣布入局光刻机及关键材料等领域,并立下军令状接下来聚焦关键核心技术,有效解决光刻机、高端芯片等方面“卡脖子”的问题。

近日国内芯片企业中芯国际的发展也迎来好消息,中芯国际的曝光:“中芯国际称8nm芯片将于年底试产,并且可以绕开EUV光刻机,根据透露,中芯国际的第二代N+1工艺已经进入到客户导入阶段,并且将于年底批量试产了。”

由于台积电、三星、联发科等在使用到了美国技术后,都将无法在供应华为芯片,让我们意识到了,在芯片产业,就算可以设计出全球最为先进的高端芯片,但也要制造出来,否则一切都等于零。

而芯片的制造就需要很多重要的环节,其中包括光刻机,目前全球最先进的光刻机就是DUV(极紫外光)光刻技术,而ASML是全球仅有一家拥有这种设备荷兰公司。也就是说,全球高端芯片的生产都离不开ASML的先进光刻机。

我国5nm芯片技术迎来了新突破,可能会绕开EUV光刻机技术量产芯片,或将打破ASML垄断的限制。

然而,在中科院宣布入局光刻机核心技术后,很多厂商都坐不住了,其中ASML和德国的半导体巨头英飞凌迅速做出表态。

ASML负责人表示,作为全球半导体行业的合作伙伴,ASML将加快在中国市场的布局。ASML在未来将持续投入、扩大布局、培养人才、并与之合作伙伴联手,同中国半导体产业实现共同发展。

德国的半导体巨头英飞凌迅负责人表示,中市场是未来发展的重点。而且英飞凌CEO还强调,该企业核心知识产权都是在德国、澳大利亚等国家地区注册的,这确保了该企业对相应技术100%的可控。也就是说,大部分产品在华销售将不会受限。

据资料显示,早在2018年,英飞凌就已经成为了全球前十大半导体企业之一。而且该企业在全球功率半导体市场的份额接近20%,位列世界第一,在安全芯片市场的份额也拿下了全球第一。

在国外芯片企业的眼中,我国市场无疑被认定为“香饽饽”。在美日韩等多家芯片企业暂停供应之际,而德国芯片巨头企业英飞凌趁机想拿下更多的市场份额。更为重要的是,英飞凌对芯片技术的可控100%,绕过了美国技术,这无疑对我国企业来说尤为关键。

想了解更详实的中国离子注入行业分析请点击中研普华出版的《2020-2025年中国离子注入行业市场发展前景预测与投资战略规划研究报告》


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2020-2025年中国路由器行业深度调研及投资前景预测研究报告

华为 光刻机技术 2020中国离子注入行业

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