我国纳米抛光浆料市场需求增长 2021纳米抛光浆料行业投资前景预测

纳米抛光是一种环保的抛光工艺。常用的抛光材料主要有金刚石，氧化铝，氧化硅，氧化铈，氧化钛，氮化硅，氧化铁等。与传统抛光工艺相比，环保等离子纳米抛光工艺的优势主要表现在:减轻环保压力。纳米抛光液非常环保，其废液可以直接排放而不会造成污染，也可以稍作处理回收利用。纳米抛光加工费用低，有利于推广，并且对加工环境无污染，适应绿色制造的发展方向。

同时，降低生产成本。半自动、全自动环保等离子纳米抛光设备采用自动化控制，操作简单，维护方便，减少作业人员、降低人工成本。同时也可为客户节省因人工抛光、电解抛光、化学抛光等传统抛光方法而造成的许多材料消耗。

纳米抛光浆料是一种不含任何硫、磷、氯添加剂的水溶性抛光剂，具有良好的去油污，防锈，清洗和增光性能，并能使金属制品超过原有的光泽。纳米抛光浆料具备性能稳定、无毒，对环境无污染等作用。　随着现金电子产品，如集成电路，计算机硬盘，数字光盘，光通讯元件等性能的日益提高，许多部件表面要求达到超光滑。

亚纳米级的超精抛光是在原子量级进行的，纳米磨粒通过对被抛光工件表面原子的碰撞、摩擦、扩散、填充等，达到原子的去除，磨粒的粒度较小(纳米级)利于获得较低的表面粗糙度、较低的表面波纹度、较高的表面平整度以及较小的表面缺陷。

纳米材料及其相应的制取、组合技术已成为21世纪世界科技发展中的主流方向，也是世界各国最主要的研究热点之一。当前，我国在纳米领域发表的SCI论文累计已经跃居全球第一，同时相关专利的申请量累计达20.9万件，占全球总量的45%。然而，在美国专利及商标局的专利统计数据中，即使不计美国自身，我国大陆地区的专利数量也居于韩国、日本、中国台湾地区之后，说明我国相关产业参与国际化竞争的程度仍然不够深。

近年来，随着纳米材料制备技术的发展，纳米材料应用于化学机械抛光的研究迅速发展。我国纳米抛光浆料主要应用于石材、LED、集成电路等领域，其中集成电路的快速发展推动了我国纳米抛光浆料的需求增长。

随着半导体制造技术的发展，半导体加工工艺向着更高的电流密度，更高的时钟频率和更多的互联层转移，技术上要求具有较小的线宽尺寸和较高的集成度，使CMP技术得到强有力的大量研究和商业化开发。CMP抛光液作为CMP过程中必备的耗材，迎来了巨大的发展机会。

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