第一章 三氟化氮产品概述

1.1 电子特种气体——三氟化氮概述

1.2 三氟化氮的产业与市场简述

1.2.1三氟化氮的应用领域

1.2.2三氟化氮的市场简况

1.2.3 三氟化氮的产业简况

1.3 三氟化氮行业的特点

1.3.1 行业兴衰与半导体、光伏、液晶显示产业发展有着关系密切

1.3.2 三氟化氮产品优势得到发挥

1.3.3 市场垄断性强

1.3.4 近年全球三氟化氮应用市场在迅速扩大

1.4 在当前环境保护要求的形势变化下三氟化氮产品发展前景成为变数

1.4.1 三氟化氮成为气候变化新威胁UNFCC已将其列入“监管”气体之中

1.4.2 三氟化氮替代产品得到发展

第二章 电子特种气体、氟化工品应用市场

2.1 电子特种气体概述

2.2 电子特种气体制造中的主要技术方面

2.3 电子特种气体的纯净度要求

2.4 电子特种气体产品市场竞争的焦点问题

2.4.1 对电子特种气体杂质、纯度要求的问题

2.4.2 气体配送及供应问题

2.4.3 储存、使用中的安全性问题

2.4.4 成本性问题

2.5 国内外电子特种气体行业发展概述

2.5.1 境外电子特种气体生产与市场情况

2.5.2 国内电子特种气体行业及其发展

2.6 氟化工产业概述

2.6.1 氟化工产业中的重要产品

2.6.2 我国氟化工产业发展情况

第三章 三氟化氮的主要特性

3.1 物理特性

3.2 毒性及危险性

3.3 反应性

3.4 相关的安全性

3.5 主要性能及标准

3.5.1 对纯度的一般质量指标要求

3.5.2 美国气体及化学产品公司的NF3的工业标准及产品不同等级标准要求

3.5.3 SEMI的三氟化氮标准

3.5.4 三氟化氮我国国家标准（GB/T 21287-2011）

第四章 三氟化氮的主要生产工艺方法

4.1 NF3的制备方法

4.1.1 概述

4.1.2 直接化合法

4.1.3 氟和氟化氢铵法

4.1.5 电解法

4.2 NF3粗品纯化工艺加工

4.2.1 NF3粗品纯化工艺法的种类

4.2.2 低温精馏法

4.2.3 化学吸收法

4.2.4 化学转化法

4.2.5 选择吸附法

4.3 安全生产的问题

4.4 在半导体晶元工厂的供应系统

第五章 三氟化氮的主要应用领域概述

5.1 概述

5.2 三氟化氮在集成电路中的应用

5.2.1 集成电路芯片制程

5.2.2 化学气相沉积和气体应用

5.3 作为清洗剂、刻蚀剂在半导体制造中的应用

5.3.1 替代PFC作为清洗剂

5.3.2 等离子增强化学气相沉积（PECVD）

5.3.3 在PECVD的干刻蚀、清洗加工中的应用

5.4 高纯NF3在薄膜硅太阳电池中的应用

5.4.1 非晶硅薄膜太阳能电池

5.4.2 Si薄膜的材料特性

5.4.3 非晶硅薄膜太阳能电池制作工艺及高纯硅烷其应用

5.5 用三氟化氮作氟化剂

5.5.1 六氟化钨的理化性质及用途

5.5.2 NF3是制造WF6

5.5.3 世界WF6 的生产现况

5.5.4 国内生产WF6的情况

5.6 三氟化氮作为氟源在化学激光器中应用

5.7 NF3在IC和TFT-LCD应用市场扩展的三阶段

5.8 NF3在不同应用领域中应用量的比例

第六章 世界及我国NF3的半导体市场调查与分析

6.1 世界半导体硅片生产与市场发展

6.1.1 世界半导体生产的现况

6.1.2 世界半导体硅片的生产状况

6.2 我国半导体晶圆生产与市场现况与发展

6.2.1 我国集成电路市场、产业发展现状

6.2.2 我国集成电路晶圆制造业情况

6.2.3 我国集成电路晶圆主要生产厂家情况

第七章 世界及我国NF3的液晶显示器市场调查与分析

7.1 世界平板显示器产业发展现况

7.2 我国平板显示器产业现况与未来发展预测

7.2.1 我国液晶显示产业发展概述

7.2.2 我国LCD面板生产现况与未来几年发展预测

7.2.3 我国发展平板显示产业的相关政策及未来发展的预测、分析

第八章 世界及我国NF3的薄膜硅太阳电池市场调查与分析

8.1 国内外光伏产业的发展

8.1.1 世界光伏产业的快速发展

8.1.2 我国光伏产业发展环境与现况

8.2 薄膜太阳能电池的生产与市场

8.2.1 薄膜太阳能电池特点及品种

8.2.2 薄膜太阳能电池未来市场发展前景

8.2.3 薄膜太阳能电池生产及在光伏市场上的份额变化

8.3 国内外薄膜太阳能电池的主要生产企业

8.3.1 境外薄膜太阳能电池生产厂家概况

8.3.2 国内薄膜太阳能电池生产厂家概况

第九章 世界NF3的生产现状与发展

9.1 概述

9.2 世界三氟化氮生产现况

9.3 美国的NF3生产现状与厂家

9.3.1 美国AP公司

9.3.2 杜邦公司

9.4 日本的NF3生产现状与厂家

9.4.1 关东电化工业公司

9.4.2 三井化学公司

9.4.3 中央玻璃公司

9.5 韩国的NF3生产现状与厂家

9.5.1 AP公司韩国蔚山分厂

9.5.2 韩国SODIFF新素材有限公司

9.6 台湾的NF3生产现状与厂家

第十章 我国国内NF3的生产现状与发展

10.1 国内NF3生产的发展

10.2 国内NF3生产需求市场

10.3 国内NF3的主要生产厂家

10.3.1 国内NF3的生产厂家概述

10.3.2 中核红华特种气体股份有限公司

10.3.3 湖北沙隆达天门农化有限责任公司

10.3.4 中国船舶重工集团第七一八研究所

10.3.5 其它厂家

10.4 国内与NF3气体相关的科研、协会机构

图表目录

图表：半导体制造业用特种气体按其使用时的特性分类情况

图表：全球半导体工业用主要几种高纯度气体的市场规模变化情况

图表：氟化工产业链的构成情况

图表：NF3分子结构图

图表：SEMI标准中NF3中 CF4、CO2、N2O、SF6和 CO 的分析流程图

图表：气-固反应器图

图表：气-液反应器图

图表：气-液反应法的生产流程图

图表：电解槽结构图

图表：低温精馏过程示意图

图表：色谱分离气体流程图

图表：典型半导体晶元工厂的特气供应系统流程图

图表：三氟化氮的主要应用领域

图表：IC硅片制造前工程的过程

图表：各种CVD法反应装置的原理

图表：PECVD装置

图表：三氟化氮在半导体芯片加工制造环节中的应用示意图

图表：TFT 阵列构成

图表：等离子体CVD加工工序及SiH4等电子特气的供应系统

图表：所示了采用等离子体CVD法制作TFT阵列的实际装备例

图表：TFT 阵列形成过程及NF3在采用等离子体CVD法形成TFT 阵列形成中作用

图表：Si基薄膜的种类、特征及晶体结构

图表：Si基薄膜太阳能电池的基本结构

图表：非晶硅薄膜太阳能电池制作工艺过程

图表：NF3不同应用领域中应用量的比例

图表：2015-2017年全球半导体市场规模和年增幅统计预测

图表：世界不同直径尺寸硅片市场发展趋势

图表：2015-2017年全球硅片出货量变化率

图表：2015-2017年全球硅片销售收入变化率

图表：全球硅片出货量按尺寸计预测

图表：2015-2017年我国半导体及集成电路产销情况

图表：2015-2017年我国集成电路晶圆业发展规模

图表：我国主要集成电路晶圆的生产厂家分布情况

图表：2015-2017年世界液晶显示器面板出货量统计及预测

图表：2015-2017年平板电视在世界主要国家、地区的普及情况

图表：2015-2017年我国LCD面板的市场规模统计、预测

图表：我国TFT-LCD面板的产能统计及未来几年发展预测

图表：2015-2017年我国TFT-LCD面板各代线在国内总产能的比例变化

图表：我国主要集成电路晶圆生产厂家分布情况

图表：全球光伏市场构成

图表：2015-2017年全球及我国光伏市场规模变化

图表：2017年全球各主要国家及地区光伏发电安装量的份额

图表：2017年全球主要电池组件企业市场份额分布情况

图表：2015-2017年中国太阳能电池出货量

图表：2015-2017年中国太阳能电池产量的统计及预测

图表：2015-2017年世界薄膜太阳能电池产能统计及预测

图表：2015-2017年世界薄膜太阳能电池产量统计及预测

图表：2015-2017年世界NF3实际生产量及生产能力的统计

图表：2015-2017年世界NF3实际生产量及生产能力年增长率变化

图表：2017年世界主要生产企业NF3产品的市场份额

图表：世界NF3主要国家、地区的生产产能及产能占世界总产能比例

图表：日本2015-2017年的NF3实际产量（国内部分）统计

图表：我国NF3气体市场需求量的统计及预测