看似“神秘”的等离子体其实并不罕见,那什么可称之为等离子体呢?等离子体是指处于电离状态的气态物质,其中带负电荷的粒子(电子、负离子)数等于带正电荷的粒子(正离子)数。通常与物质固态、液态和气态并列,称为物质第四态。通过气体放电或加热的办法,从外界获得足够能量,使气体分子或原子中轨道所束缚的电子变为自由电子,便可形成等离子体。
最常见的等离子体是高温电离气体,如电弧、霓虹灯和日光灯中的发光气体,还有太阳、闪电、极光等。等离子体在半导体工业、新能源行业、聚合物薄膜、材料防腐蚀、冶金、煤化工、工业三废处理、医疗行业、LCD显示屏组装、航天航空等诸多领域具有广泛应用,潜在市场价值每年近2000亿美金。
目前,低温等离子体技术在工业应用中较为常见,但是在我国应用的领域还非常有限。比如在羊毛染色过程中用到氯化工艺,不仅产生废水污染,毡缩效应也会比较大(导致衣物缩水),如果使用等离子体技术处理,不仅完全没有污染,还能大幅减少毡缩效应。此外,在芯片产业中,等离子体技术也已相当成熟,但是目前大多被国外垄断,包括刻蚀机、等离子清洗机等。
等离子表面处理技术能够在材料科学、高分子科学、生物医药材料学、微流体研究、微电子机械系统研究、光学、显微术和牙科医疗等领域得到应用。正是这种广泛的应用领域和巨大的发展空间使等离子表面处理技术迅速在国外发达国家发展起来。
等离子表面处理技术能够应用的行业非常广泛,对物体表面进行清洗、刻蚀、表面活化和涂层等处理。因此就决定了等离子表面处理技术必将有广泛的发展潜力。
当前,全球冷等离子体市场规模预计将从2020年的17.1亿美元增长到2024年的35.8亿美元,在预测期内的复合年增长率为15.9%。高压冷等离子体部分将在预测期内(2020-2024年)以最高复合年增长率增长 冷等离子体市场细分为高压冷等离子体和低压冷等离子体。预计高压部分将在预测期内以最高复合年增长率增长。该领域的高增长率归因于高压冷等离子体所提供的优势,例如更易于处理样品以及在线处理和集成到现有生产线中的可扩展性。
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