真空泵行业市场现状分析 真空泵行业发展策略研究

真空泵是真空获得设备中的主要种类，用于获得、改善和(或)维持真空环境。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。真空技术主要是建立低于大气压力的物理环境，以及在此中进行工艺制作、物理测量和科学试验等所需的技术获得的真空度可以分为四档。

按照工作原理的不同，真空泵分为气体传输泵和气体捕集泵两大类。

气体传输泵可以被进一步分为变容真空泵和动量真空泵两类。变容真空泵是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气的装置，气体在排出前被压缩。可分为往复式和旋转式两种。动量真空泵是通过高速旋转的叶片或射流，把动量传输给气体或者气体分子，使气体连续不断的从入口传输到出口的真空泵。

气体捕集泵是使气体分子被吸附或冷凝而保留在泵内表面上的一种真空泵，主要包括吸附泵、吸气剂泵、升华(蒸发)泵、吸气剂离子泵、低温泵等类型。

根据中研普华产业研究院发布的《2023-2028年国内真空泵行业发展趋势及发展策略研究》显示：

2022年全球干式真空泵收入大约2128.9百万美元，预计2029年达到2595.4百万美元，2023至2029期间，年复合增长率CAGR为 2.9%。

全球干式真空泵主要厂商有Atlas Copco、Ebara、Pfeiffer Vacuum、Flowserve、Agilent等，全球前五大厂商共占有大约70%的市场份额。欧洲是全球最大的干式真空泵市场，占有大约40%的市场份额，之后是北美和日本市场，二者共占有大约20%的份额。

真空泵行业市场现状分析

从真空泵产业链来看，上游是关键零部件主要包括导管、保温罩和加热器;下游真空泵被广泛应用于制药、化工、食品、电子等行业。

从全球真空泵应用领域来看，2019年半导体领域是规模最大的下游市场，占比37%，规模约17.3亿欧元。2020年以来真空泵行业结构转型趋势明显，干式螺杆真空泵的出现替代了大部分油螺杆真空泵，在制药、医疗器械、半导体行业均有应用。

目前真空泵已经广泛应用在半导体制造的多个工艺环节中， 包括刻蚀、 镀膜、 扩散等等。为了将制造过程控制在更小的尺寸上，越来越需要以更高的精度和均匀性执行更多的半导体制造过程步骤。为了实现这一点，半导体工艺必须在极度受控的真空环境中运行。随着功能和电路尺寸的减小，半导体制造中的工艺步骤数量将继续增加，从而导致真空设备需求的增加。此外，小型化还需要新的制造技术，如多模和EUV光刻技术，这将进一步推动半导体制造商采用真空系统。

真空泵行业发展策略研究

真空泵是用来产生、改善和维持真空环境的装置，是国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的设备。近几年，伴随我国经济持续高速发展，真空泵下游应用行业保持快速增长势头，真空泵应用领域不断拓展，该领域市场空间广阔。

截至目前，发达国家的半导体相关产业已全部使用干式真空泵，我国近年来也呈现明显的干式真空泵替代油泵的趋势，国内的高端半导体行业已基本使用干式真空泵。

除半导体产业以外，制药、化工、食品行业对真空泵的需求较大，以往使用油封式机械泵会产生油污染。近年来国家对环境保护高度重视，由于干式真空泵能够显著减少油污染，且使用干式真空泵可实现溶媒回收提高利用率，因此制药、化工、食品等行业对干式真空泵产生了大量新增以及替代原有存量油封式机械泵的需求。

由于各种电子技术都基于半导体材料来实现，几乎所有电子产品如 PC、消费电子、通信设备等的核心单元均与半导体有着极为密切的关联，因此半导体是电子产品的组成核心，承担了信息的载体和传输功能，是整个信息产业的发展基石。

集成电路产业已成为国民经济中基础性、关键性和战略性的产业。近年来，国家在产业、财税、金融等方面出台多项政策支持集成电路产业发展，包括《新时期促进集成电路产业和软件产业高质量发展的若干政策》、《进一步鼓励软件产业和集成电路产业发展若干政策》、《关于进一步鼓励集成电路产业发展企业所得税政策的通知》、《中国制造 2025》、《集成电路产业研究与开发专项资金管理暂行办法》、《国民经济和社会发展第十三个五年(2016-2020)规划纲要》、《“十三五”国家科技创新规划》等，为集成电路装备制造企业的发展创造了良好市场与政策环境的同时，也对产业发展制定了目标与规划。

我国本土集成电路产业发展虽起步较晚，但近年来发展迅速，行业增速领先全球。数据显示，2019年中国集成电路产业销售额达7,562亿元，占全球集成电路市场销售额的32.87%，我国已超过美国、欧洲和日本，成为全球最大的集成电路市场。与此同时，物联网、大数据、人工智能、5G 通信、智能驾驶等新型基础设施和新型应用领域将带来巨大的芯片增量需求，为干式真空泵产品提供广阔的市场空间。

更多行业详情请点击中研普华产业研究院发布的《2023-2028年国内真空泵行业发展趋势及发展策略研究》。