近年来,微系统相关技术发展迅速,微系统集成方法与工艺有了新的突破,微电子器件特征尺寸继续减小,微处理器、微射频器等性能进一步提升,碳化硅与氮化镓等第三代半导体材料器件日益成熟并进入应用阶段,为微系统技术发展提供了有效支撑。
微传感器是传感技术微型化的基础,是微系统的重要基础技术。近年来,微传感器性能不断提升,可感知对象不断丰富,在生物医学及消费电子产品等领域中得到了广泛应用,对各种传感装备的微型化发展起着巨大的推动作用。
根据中研普华研究院报告《2022-2027年微系统产业深度分析及发展现状趋势预测报告》显示:
微系统,又称微机电系统(MEMS,Micro-Electro-Mechanical System),微系统技术融合了微电子、微机电和微光电技术,通过系统架构和软件算法,将微传感器、微控制器、微执行器、微能源及各种接口等构成一体化软、硬件多功能集成,采用微纳制造及微集成工艺实现系统结构的微纳尺度化。它被公认为21世纪的革命性技术之一。
微系统具有高集成度、微小型化、低功耗、高可靠性、高效率等优点。微系统技术上的新材料、新方法、新工艺等技术变革必将对军民两用的系统研发和制造带来颠覆性影响。
微系统技术融合了微电子、微机电和微光电技术,通过系统架构和软件算法,将微传感器、微控制器、微执行器、微能源及各种接口等构成一体化软、硬件多功能集成,采用微纳制造及微集成工艺实现系统结构的微纳尺度化。它被公认为21世纪的革命性技术之一。
在微系统技术微系统技术的发展历史上,集成电路(IC)是技术的起点。电子器件小型化和多功能信成是微加工技术的推动力。如果没有微加工和小型化技术的迅猛发展,许多今天看来理所当然的科学和工程成就都不可能实现。
微系统技术的发展主要集中在MMIC、MCM、MEMS、SOC、SIP等技术上,其中又以MEMS为主。微系统产品凭其优质的性能,广泛应用于智慧医疗、航空、消费电子、智慧物流等领域,微系统行业的技术水平发展较好,产品附加值较高,净利率较高。2020年,微系统产品的净利率约为9.85%,在大多数行业中处于中上水平。
可扩展的高端 MEMS 器件加工平台,解决了系列高端 MEMS 器件加工的难题,完成了 MEMS 继电器、RF MEMS 开关 ,用于环境感知的 MEMS 智能感知微系统 ,恶劣环境下的 MEMS 高温无线传感微系统 ,MEMS 扫描镜及目标探测微系统,微型 MEMS 储能器件及能源微系统等。其中超高过载自供电 MEMS 传感器及集成微系统在国内首次通过实测验证,填补国内空白,相关技术被国内多家重点单位应用并产业化。
想了解行业未来将如何发展?请关注中研普华研究院报告《2022-2027年微系统产业深度分析及发展现状趋势预测报告》。
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