光刻机巨头ASML寻求氖气供应 工业气体龙头上市公司市场份额

工业气体被喻为工业的“血液”。工业气体在国家标准《常用危险化学品的分类及标志》(GB13690-1992)中，通常被划为第2类压缩气体和液化气体。这类化学品系指压缩、液化或加压溶解的气体。气体经加压或降低温度，可以使气体分子间的距离大大缩小而被压入钢瓶中，这种气体称为压缩气体(亦称为永久气体， 如氧气、氮气、氩气、氢气等)。

光刻机巨头ASML寻求氖气供应

全球光刻机巨头荷兰的ASML公司正在紧急寻找乌克兰以外的其他氖气供应来源。ASML一位发言人表示，乌克兰是全球最大的氖气生产国，氖气是光刻气中主要成分，俄乌冲突导致乌克兰氖气出口遭遇困境，工业气体市场供需状况如何？。

资料显示，氦氖氩氪氙氡统称为惰性气体，在常温常压下，它们都是无色无味的单原子气体，很难进行化学反应，主要应用于半导体微影制程。氖气是光刻气中主要成分。

在半导体制程当中，氖气可用于 KrF、ArF 镭射曝光，在 ArF 准分子激光器中使用的氩/氟/氖气体中，氪气同样用于光刻制程，氙气用于半导体刻蚀制程。

根据中研普华研究院《2022-2027年中国工业气体行业市场调查分析与发展趋势预测研究报告》显示：

晶圆制造材料的占比中，以氖气、氚气等为代表的“电子特气”，是仅次于硅片的第二耗材。以氖气在光刻机中的应用为例，在电离时，含氖的稀有混合气体会发出一种特定波长和能量的激光，而这些激光，正是让光刻机去除芯片表面光刻胶涂层，进而在硅片表面绘制出特定电路图的主要光束。

据介绍，在目前DUV光刻机主要采用的ArF激光器中，氖气就占到了气体混合物的96%以上。可以说，如果没有这种“电子特气”，目前令整个半导体制造行业有价无市的光刻机，也将失去其独特的魅力。而且，这还仅仅只是“电子特气”的应用之一，在涉及硅片制造、氧化、光刻、蚀刻等诸多环节，都有着不同的“电子特气”身影。

氖气价格行情及供应份额调查

受国际局势影响，氖气价格强势走高。据ifind数据显示，截至2月23日，国内市场氖气价格报1650元/立方米，较年初涨幅达65%，较2021年10月低点已翻了四倍。稀有气体价格集体大涨。

乌克兰的氖气(Ne)的全球供应份额达70%，而氪气(Kr)和氙气(Xe)的全球供应份额则分别达到40%和30%。此外，美国超过 90%的半导体级氖气供应来自乌克兰(由俄罗斯生产，乌克兰纯化)。

另一方面，氪气和氙气年内的涨幅也较为可观。截至2月23日，氪气价格年内累计上涨39.24%，氙气的价格年内涨幅达27.27%。

除了ASML，台积电、联电、南亚科均透露，已增加关键气体备货量，同时提高供应商多样性，短期可避开地缘事件影响。其中，联电已与氖气供应商泰实科技签订长约，提前锁定产能、锁定价格——公司也是首家提前以下手保证关键气体供应的晶圆代工厂。

工业气体龙头上市公司市场份额

对于特种气体的公司来说，电子所用的特种气体的平均毛利率能达到近50%，像是法国液化空气的毛利率最高能达到60%+，而一般化工气体或大宗气体的毛利率也就是20-30%的水平。对比半导体产业链来看，晶圆厂的盈利能力最强，尤其是以台积电为首，毛利率高达53%， 半导体设备的毛利率也才仅有40%左右。

该行业主要的市场份额被海外龙头垄断，前五大厂商占据90%以上的市场份额，包括法国液化空气、德国林德集团、日本大阳日酸。这些海外巨头都是以工业气体起家，通过多次海外并购以及专利研发后，逐渐切入盈利能力更高的电子特气业务。

目前国内的市场格局较为分散，以小有规模的一些公司来看，厂商对于半导体沉积、刻蚀、掺杂等加工的环节着力点也不相同。还是因为气体的种类太广泛，且纯度工艺要求非常高，国内厂商的专利研发时间较海外龙头相比还十分短暂，因此能够涉及的品种和市场体量相对较小。

过往经验表明，2015年克里米亚危机之际，氖气价格曾飙升10倍以上，达到每立方公尺3500美元的高价。此次俄乌冲突比当年激烈程度更有过之，而且半导体需求规模较7年前大为增加，由此半导体市场受到的冲击也更为明显，导致本已“缺芯”的全球半导体供应愈发雪上加霜皆属市场的合理推测。

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