2022年刻蚀机行业发展空间及市场规模分析

刻蚀机发展现状、刻蚀机市场需求如何?随着5G、大数据、物联网、人工智能等新兴产业的发展，半导体器件的需求将持续攀升。半导体设备作为推升半导体器件制造的基石，有望迎来新一轮发展机遇;而作为半导体设备的重要组成部分，刻蚀机的需求也将水涨船高。

2022年刻蚀机行业发展空间及市场规模分析

刻蚀是通过移除晶圆表面材料，在晶圆上根据光刻图案进行微观雕刻，将图形转移到晶圆表面的工艺。刻蚀分为湿法刻蚀和干法刻蚀，湿法刻蚀是利用化学溶液溶解晶圆表面的材料，干法刻蚀使用气态化学刻蚀剂与材料产生反应来刻蚀材料并形成可以从衬底上移除的挥发性副产品。

刻蚀机是芯片制造过程中的核心设备之一，刻蚀是利用化学或者物理的方法将晶圆表面附着的不必要的材质进行去除的过程。在刻蚀机中，闪电、极光也都是等离子体会轰击在晶圆表面，将原子直接打出，或发生化学反应与晶圆上的材料形成新的化合物挥发，实现刻蚀。

刻蚀机产业链中，上游为刻蚀机的四大组成部分，主要包括预真空室、刻蚀腔体、供气系统及真空系统;中游为刻蚀机的制造，刻蚀技术主要有两种，传统湿法刻蚀技术及现代干法刻蚀技术;下游为刻蚀机的应用，主要用来制造半导体器件、太阳能电池及其他微机械制造。

据中研产业研究院公布《2021-2026年中国刻蚀机市场深度全景调研及投资前景分析报告》显示

全球刻蚀设备行业的主要企业即泛林半导体，东京电子和应用材料三家。从全球刻蚀设备市场份额来看，三家企业的合计市场份额就占到了全球刻蚀设备市场的90%以上。其中泛林半导体独占52%的市场份额，东京电子与应用材料分别占据20%和19%的市场份额。

国内的刻蚀设备企业主要有中微公司、北方华创、屹唐半导体和中电科。其中，中微公司、北方华创和屹唐半导体均以生产干法刻蚀设备为主，中电科除了生产干法刻蚀设备以外还生产湿法刻蚀设备。除上述企业外，国内还有创世微纳、芯源微和华林科纳等企业生产刻蚀设备。

近年来，随着国内晶圆厂制程工艺的进步，多重曝光工艺逐步得到应用，对刻蚀设备的需求潜力增大，带动了我国刻蚀设备行业的发展。根据Gartner数据，2020年全球刻蚀设备市场规模123.3亿美元，预计到2024年市场规模151.8亿美元，2019-2024年年均复合增长率为7%。

在政策的推动和研发的进步下，我国刻蚀机行业涌现出了一批优秀的领先企业。但我国企业在刻蚀机制造方面距离世界头部企业仍有一定的距离，刻蚀机研发进度仍待加快。

刻蚀机行业研究报告旨在从国家经济和产业发展的战略入手，分析刻蚀机未来的政策走向和监管体制的发展趋势，挖掘刻蚀机行业的市场潜力，基于重点细分市场领域的深度研究，提供对产业规模、产业结构、区域结构、市场竞争、产业盈利水平等多个角度市场变化的生动描绘，清晰发展方向。

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