2023电子特气行业发展前景及市场规模调研分析

电子特气市场前景调研情况如何?不同类型的电子特气根据不同的物理化学性质应用于不同的工艺环节，包括沉积、光刻、刻蚀、扩散、退火等关键工序。可以说，电子气体几乎用于集成电路制造的每一个环节，是集成电路制造的血液。电子气体的生产过程包括分析检测、合成、提纯、充装、混合配比等多个工艺流程。为了满足下游半导体制造的纯度和杂质含量要求，提纯工艺非常重要，根据上游合成气或原料气组成，进行低温精馏或多级纯化。

电子特气上游多为III(硼、铝、镓)、IV(碳、硅、锗)、V(氮、磷、砷)族元素及卤族元素(氟、氯)的基础化工产业，下游在集成电路、面板、LED等领域的各个工艺环节均有多种用途。电子特气是集成电路、显示面板等电子工业生产不可或缺的原材料，2021年，电子特气在集成电路中的应用占比达43%，其次为显示面板，占比21%，LED和光伏分别占比13%，6%，主要应用环节包括离子注入、刻蚀、气相沉积、掺杂等。

2023电子特气行业发展前景及市场规模调研分析

电子特气在集成电路、显示面板、化合物半导体器件等电子工业生产中是不可或缺的原材料。根据产业研究院的统计2020年中国电子特气应用市场结构，集成电路制造占比最高，约占总体电子特气市场的44%。显示面板领域占比约35%，太阳能电池领域占比约13%，LED及其他领域占比约8%。随着半导体行业的快速发展，电子特气的种类、数量仍在不断增加。

电子特气市场规模是仅次于硅片市场规模的半导体材料。根据中国半导体行业协会的统计，电子特气占半导体材料整体市场的14%，在半导体材料规模占比仅次于硅片。从产业链来看，工业气体行业的原材料是空气、工业废气、基础化学原料等，其上游是气体分离及纯化设备制造业、基础化学原料行业、压力容器设备制造业等。下游领域包括冶金、化工、机械制造等传统行业，以及半导体、显示面板、LED、光伏、医疗健康、光纤光缆等新兴行业。

中国集成电路产业虽起步较晚，但近年来在市场需求拉动和政策支持下，产业规模迅速增长。根据中国半导体件行业协会的相关统计数据，2021 年中国集成电路产业销售额达 10,458.30 亿元人民币，同比增长 18.20%。其中，设计业销售额为 4,519.00 亿元，同比增长 19.60%;制造业销售额为 3,176.30 亿元，同比增长 24.10%;封装测试业销售额 2,763.00 亿元，同比增长 10.10%。2018 年-2021年集成电路产业销售量的年复合增长率达到了 17.00%，产业增速较为明显。

电子特气广泛应用于半导体、微电子和相关的太阳能电池等高科技产业，或用于薄膜沉积、刻蚀、掺杂、钝化、清洗，或用作载气、保护气氛等等。由于半导体和微电子技术向更高性能、更高集成度发展，对电子特气的纯度提出了越来越高的要求，电子特气的的净化愈加关键和重要。

在气体制备过程中，需要同时满足高洁净度、高密封性、高稳定可靠性的要求。洁净度方面，上游合成制备属于化工生产过程，无特殊洁净度要求，气体经过提纯后，进行气体冲入和混合制备需要满足下游集成电路制造工艺的标准规范。电子特气密封性方面，由于具有化学活性，电子气体，尤其是电子特气在生产过程中对系统材料与半导体制造要求保持一致，防止引入杂质或气体腐蚀引起泄漏、污染等危害。稳定可靠性方面，电子特气的品质指标包括纯度、杂质颗粒含量等，指标的任何变化都会影响下游半导体制造的结果。因此，为保证电子特气产品的一致性，对气体制备工艺系统的控制指标稳定性要求也非常重要。

电子特气得到国家政策大力支持。“十四五”期间，中国工业气体、集成电路产能分布密集的东部地区基于自身区域产业发展提出相应的电子特气行业发展规划，其中如广东、辽宁等地基于优势城市、区域产业群加大技术投入，拓展包括电子特气在内的工业气体版图;江苏、浙江等集成电路产能密集省份则基于区域相关产业发展方向，有针对性地发展相应电子特气产业，提升集成电路产业化程度。可以预见的是未来国产电子特气市场未来将有较大增长空间。

我国电子特气市场规模达到173.6亿元，同比增速达30.1%。近年来国内在建和未来规划建设的产能为电子气体提供了广阔的空间，2010-2020年年平均复合增长率达16.1%。预测2022年我国市场规模有望突破200亿元。

电子特气在集成电路中的应用占比达43%，其次为显示面板，占比21%，LED和光伏分别占比13%，6%，主要应用环节包括离子注入、刻蚀、气相沉积、掺杂等。目前国内电子特气第一梯队的厂商已经具备规模生产能力，在细分领域产品具有一定优势，但和国外龙头企业相比还有较大差距，国产替代空间巨大。

预计2024年我国电子特气市场规模将达到230亿元，2020-2024年复合增速将达11.28%，增速高于全球。

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