中国半导体行业发展前景 半导体清洗设备行业发展现状

半导体产业作为国民经济的基础性支撑产业备受重视。近几年，欧盟、美、日、韩等主要国家和地区相继提出振兴本土半导体业法案，试图取得市场和技术的话语权。中国也积极出台各项措施，对产业的扶持态度十分坚定，半导体产业的景气度持续走高。半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。

如今，各国都在发展信息技术产业，这主要是因为信息技术的发展对于国家来说是至关重要的，而半导体则是当代信息技术产业的核心。半导体是资金密集型的行业，企业的发展需要不断投入资金研发。但半导体项目投资的周期较长，半导体企业融资困难，难以募集到必要的资金。

根据中研普华产业研究院发布的《2023-2028年中国半导体行业发展前景战略及投资风险预测分析报告》显示：

我国发展第三代半导体也被写入 " 十四五 " 规划。规划要求，要加强原创性引领性科技攻关。其中，在集成电路层面，包括集成电路设计工具、重点装备和高纯靶材等关键材料研发，集成电路先进工艺和绝缘栅双极型晶体管 ( IGBT ) 、微机电系统 ( MEMS ) 等特色工艺突破，先进存储技术升级，碳化硅、氮化镓等宽禁带半导体发展。

2022年全球半导体制造设备出货金额相较于2021年的1026亿美元增长5%，创下1076亿美元的历史新高。从设备类型的角度来看，2022年，晶圆加工设备的全球销售额增长了8%，而其他前端领域的销售额增长了11%。在2021强劲增长后，封装设备销售额2022年下降了19%，测试设备总销售额同比下降了4%。

随着中美贸易摩擦的加速，半导体全供应链国产化势在必行。在需求拉动和国产替代浪潮的推动下，伴随着国家鼓励类产业政策和产业投资基金不断的落实与实施，如加大资金支持、出台税收优惠政策、加强知识产权保护等，这些都有助于半导体设备市场的持续发展，半导体设备行业迎来巨大的发展契机。我国的半导体设备市场已经初步具备了一定的市场规模、技术水平和产业链完整度，未来有望在全球半导体设备市场中发挥更加重要的作用。

当前，随着全球集成电路半导体产业的竞争加剧，产业自主可控国产替代随之加速，打造自主可控全产业链再次成为半导体产业的催化剂。对此，市场人士纷纷表示，半导体产业链自主可控是长期主线，设备及零部件国产替代将迎来加速期。

半导体清洗设备行业发展现状

半导体制造过程中不可避免会产生一些颗粒、有机物、自然氧化层、金属杂质等污染物，清洗机是指对晶圆表面进行无损伤清洗以去除杂质，获得所需洁净表面，为下一步工艺准备良好条件的工艺设备。清洗机广泛运用于集成电路制造中的成膜前/成膜后清洗、等离子刻蚀后清洗、离子注入后清洗、化学机械抛光后清洗和金属沉积后清洗等各个环节，清洗技术是影响芯片良率的重要因素之一。目前主流的湿法清洗设备主要包括单片清洗设备、槽式清洗设备、组合式清洗设备和批式旋转喷淋清洗设备等，其中单片清洗设备市场份额占比最高。湿法清洗工艺路线下主流的清洗设备存在先进程度的区分，主要体现在可清洗颗粒大小、金属污染、腐蚀均一性以及干燥技术等标准。

全球前五大厂分别是应用材料、阿斯麦、东京电子、泛林科技和科天半导体，来自美国、日本和荷兰。凭借完整的产业链和丰富的技术专利积累，美日欧等发达国家在半导体领域长期保持了全面领先。半导体清洗设备市场集中度非常高，海外企业占据主导地位。全球半导体清洗设备主要被日本 DNS(迪恩士)、东京电子、泛林科技和 SEMES(韩国细美事)等企业主导，上述企业清洗设备合计占比超过全球市场 90%，产业集中度较高。

得益于产业转移与国家政策支持，中国大陆半导体设备行业全方位成长，国产半导体设备厂商通过自主研发，在半导体刻蚀、沉积、清洗等方面实现了设备的国产化替代，并进入量产阶段。随着国内企业核心技术和工艺能力的提升，以及在客户认证方面的不断进展，未来刻蚀、清洗设备有望成为显著受益国内市场需求发展的赛道，成为半导体设备行业国产替代的先锋。中国大陆半导体设备销售额前五大厂商为北方华创、中微公司、盛美上海、长川科技、新益昌，清洗设备厂商主要有盛美上海、北方华创、芯源微、至纯科技和提牛科技等，产业集中度较高。中国大陆从事半导体清洗设备的企业有盛美上海、北方华创、芯源微、至纯科技和提牛科技。

本报告由中研普华咨询公司领衔撰写，在大量周密的市场调研基础上，主要依据了国家统计局、国家商务部、国家发改委、国家经济信息中心、国务院发展研究中心、国家海关总署、全国商业信息中心、中国经济景气监测中心、中国行业研究网、全国及海外多种相关报刊杂志的基础信息以及专业研究单位等公布和提供的大量资料。了解更多行业数据详情，可以点击查阅中研普华产业研究院的《2023-2028年中国半导体行业发展前景战略及投资风险预测分析报告》。