能谱仪(EDS,Energy Dispersive Spectrometer)是用来对材料微区成分元素种类与含量分析,配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。能谱仪是用来对材料微区成分元素种类与含量分析,配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。
能谱仪利用发射出来的特征X射线能量不同而进行的元素分析,称为能量色散法。X射线能谱仪的主要构成单元是Si(Li)半导体检测器,即锂飘移硅半导体检测器和多道脉冲分析器。目前还不能用于分析超轻元素(O、N、C等)。由于能谱仪中Si(Li)检测器的Be窗口吸收超轻元素的X射线,故只能分析Na以后的元素。能谱仪结构简单,数据稳定性和重现性较好。
能谱仪具有分析速度快,灵敏度高,谱线重复性好,也具有能量分辨率低、峰背比低,要求严格的缺点。能谱仪主要的使用范围为:1、高分子、陶瓷、混凝土、生物、矿物、纤维等无机或有机固体材料分析;2、金属材料的相分析、成分分析和夹杂物形态成分的鉴定;3、可对固体材料的表面涂层、镀层进行分析,如:金属化膜表面镀层的检测;4、金银饰品、宝石首饰的鉴别,考古和文物鉴定,以及刑侦鉴定等领域;5、进行材料表面微区成分的定性和定量分析,在材料表面做元素的面、线、点分布分析。
一台电子能谱仪的基本组成由所研究的试样、一个初级激发源和电子能量分析器组成。它们安装在超高真空(UHV)下工作。实际上,经常再备有一个UHV室安装各种试样制备装置,和可能的辅助分析装置。此外还有数据采集与处理系统。
电子能谱仪的类型有许多种,它们对样品表面浅层元素的组成能做出比较精确的分析,有时还能进行在线测量如膜形成成长过程中成分的分布、变化的探测等,使监测制备高质量的薄膜器件成为可能。
在业内认知中,由于普通的台式能谱仪检测能力有限,一般不能胜任土壤环境重金属污染检测。马尔文帕纳科Epsilon4 型台式能谱仪集多项先进技术于一身,具有了可以媲美落地式XRF的检测能力,在环境污染检测中体现了较高的精度和良好的稳定性。 随着社会经济的发展,环境污染问题日益加剧。为了实现可持续发展,我国近年出台了一系列环保标准,以指导污染风险评估、管控与治理,对污染的监管也达到了前所未有的力度。
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