电子特气是集成电路、显示面板、光伏能源等电子工业生产中不可或缺的关键性原材料,广泛应用于薄膜、光刻、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺,其纯度对半导体器件的性能有着重要影响。
显示面板电子特气种类较多,主要有硅烷(SiH4)、磷烷(PH3)、氨气(NH3)、三氟化氮(NF3)、 六氟化硫(SF6)、氯气(Cl2)、四氟化碳(CF4)、三氯化硼(BCl3)和五氟乙炔(C2HF5)等等。
2021年全球显示面板企业均保持高水平稼动率运转,预计2021年全球显示面板用电子特气总用量将突破5.1万吨,较2020年增长11%。2021年中国大陆显示面板用电子特气全年用量将增加至2.9万吨,较2020年增长26%。
电子特气是电子工业重要的原材料之一,应用于电子工业生产中的特种气体,例如应用于半导体、微电子和相关的太阳能电池等高科技产业。电子特气产业链包括:上游的空气、工业废气等气体原料,钢瓶等气体容器,以及气体分离及钝化设备、压力容器设备等气体设备;中游的参杂用气体、外延用气体、刻蚀用气体和CVD用气体等电子特气制造;下游的应用市场,包括集成电路、液晶面板、太阳能电池、医疗健康等应用领域产业。
随着全球半导体产业链向国内转移,中国电子气体市场提速明显,远高于全球增速。根据中国半导体行业协会数据显示,中国电子特气2020年市场规模为150亿元,占全球比例约为48%,相较于2011年占比翻了一倍,2011-2020年中国市场规模复合增长率远高于全球数据,预计2024年中国电子特气市场规模将达到230亿元,中国电子特气市场规模全球占比将提高至60%。
电子特气起源于欧美,企业具有生产历史悠久、品种齐全、生产基地遍及世界各地的特点。从全球电子特气市场占比来看,美国空气化工、法国液化空气、日本大阳日酸、德国林德集团等海外巨头占据全球市场91%的份额,市场高度集中,形成了寡头垄断的格局。
从中国的电子特气市场占比来看,外资四大巨头也牢牢控制了88%的市场份额,国内气体公司只占了12%左右,半导体领域电子特气国产化率不足15%,国产替代需求强烈。从产品种类上看,据中国工业气体工业协会统计,目前集成电路生产用的电子特气,我国仅能生产约20%的品种,其余均依赖进口。进口电子气体价格昂贵、运输不便,使得电子特气国产替代需求强烈、空间广阔。
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