随着半导体芯片工艺技术的发展,工艺技术节点进入 28 纳米、14 纳米等更先进等级,工艺流程的延长且越趋复杂,每个晶片在整个制造过程中需要甚至超过 200 道清洗步骤,晶圆清洗变得更加复杂、重要及富有挑战性。
激光清洗技术是近10年来飞速发展的一种新型清洗技术,它以自身的优势和不可替代性在许多领域中逐步取代了传统清洗工艺。激光清洗不但可以用来清洗有机的污染物,也可以用来清洗无机物,包括金属的锈蚀、金属微粒、灰尘等。激光清洗技术具有无腐蚀、非接触的特点,适用于各种材质的物体,包括金属材料、石材、橡胶材料等。
济南高能清扬的激光清洗技术已非常成熟,已被广泛应用于国际国内各行业。采用激光清洗系统,可以高效、快捷地清除锈蚀、污染物,并可以对清除部位进行选择,实现清洗的自动化。
工业制品的电镀、磷化、喷涂、焊接、包装以及集成线路装配过程中,必须除去表面上的油脂、灰尘、锈垢及残留的溶剂、粘结剂等污物,以确保下道工序的质量。现行在清洗行业中得到广泛应用的清洗方法包括机械清洗法、化学清洗法和超声波清洗法,但在环境保护约束和高精细市场的要求下,其应用受到很大的限制。
为进一步加快实现至微科技成为国内湿法设备领头羊的战略目标,提高产业资源整合能力,公司控股子公司至微科技拟通过增资扩股引入核心战略投资者。半导体清洗设备业务快速增长。公司营收规模及盈利能力大幅提升,2016-2020 年,公司收入年复合增长率 51.77%,净利润年复合增长率 54.86%。 2018-2020 年实现营业收入 6.74/9.86/13.97 亿元,同比增长 82.64%、46.34%、41.63%。2018-2020 年实现净利润 0.32/1.1/2.61 亿元,同比增速为-34.19%、239.88%、136.36%。
电子工业需要高精度地去污,特别适合采用激光去氧化物。随着我国经济的飞速发展,越来越多的摩天大楼被建立起来,大楼外墙的清洁问题日益凸现,激光清洗系统通过光纤对建筑物外墙的清洗提供了很好的解决方法对各种石材、金属、玻璃上的各种污染物进行有效清洗,且比常规清洗效率高很多倍。
激光清洗技术具有对基底无损伤,微米级精准控制,节能环保等众多优势,可完全满足所有钢板型材的除锈、以及焊接前后的预处理需求。在船舶的维修保养方面,激光清洗作为一种“高精密”清洗技术,适用于船舱、压载舱、燃料舱等表面上的铁锈及油漆的剥离,以及船用柴油机气缸阀件等积碳的清洗等,不伤基材,又可无障碍应对细小缝隙精准除垢,清洗质量高,节能又环保。
近年来,在高效、节能、环保推进产业发展的倡导下,激光清洗技术逐渐在新能源汽车、航空航天、精密电子等高端应用领域崭露头角,在船舶工业中也显现出越来越大的应用潜力。
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